10.04.2017
Компания «ЛВТ», один из представителей профильных резидентов Технопарка «ЭЛМА» регулярно представляет собственные технологические разработки и оборудование на престижных международных экспозициях.
Так, в апреле 2017 года в павильонах ВТЭ-2017 предприятие выставляло новейшие на тот момент установки для нанесения (напыления) слоев различных материалов и выполнения других работ с использованием методов плазмохимии.
Компания предложила вниманию специалистов-производственников и технических экспертов установки НИКА-2014 ПХТ и НИКА-13 ПР-С.
НИКА-2013 — оборудование для промышленного применения, характеризующееся значительным объемом загрузки, оперативной перезагрузкой, сухой откачкой. Предназначена установка для:
В состав оборудования входят:
Предусмотрено оснащение дополнительными устройствами различного функционального назначения. Промышленная установка позволяет проводить обработку 136 или 48 подложек (прямоугольной формы размером до 60х48 или круглой диаметром до 100 мм соответственно). Доступно три модификации:
НИКА-2014 — новейшая техника, реализующая технологии травления и напыления с использованием методов плазмохимии (удаление или осаждение слоев материалов в высокотемпературной плазменной среде). Оборудование может найти применение при создании микроструктур в объеме полупроводников, в современных производствах, например, MEMS и высокопрецизионных оптических компонентов.
В состав комплекса входят:
Предлагается две модификации: ПХТ — травление, ПХО — нанесение слоев материала.
Кроме того, на стендах были представлены датчики собственной разработки серий ВТРЦ, ВМЦ. Цифровые измерительные компоненты относятся к категориям датчиков низкого и высокого вакуума, обладают характеристиками (прецизионностью, защитой аналоговых цепей от помех), превосходящими серийные образцы, для замены которых предназначены.
ЛВТ Beams&Plasmas (Технопарк «ЭЛМА», Зеленоград) — компания, работающая в области разработки и производства вакуумных технологических установок, импортозамещения зарубежных аналогов. Компания предлагает: