Заказать звонок
Обратная связь

НИКА-2014 ПЛАЗМОХИМИЯ ЛВТ

17.04.2017   Установка «НИКА-2014 плазмохимия» Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции — получила приз 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо»-2017, как лучший инновационный продукт 2017 года. 
  НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения покрытий в среде высокоплотной плазмы. Плазмохимические процессы широко применяются для оборонной и радиоэлектронной промышленности - при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике.
 Состав: камера Ø350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО). 

НИКА-2014 ПЛАЗМОХИМИЯ ЛВТ

 «Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas, Зеленоград) — российская компания — производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Все оборудование российского производства, состоит из отечественных компонентов. http://e-beam.ru

« назад к списку новостей